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主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、
美国维易科(Veeco)仪器 ENI RFC-5 RF RF射频电源,高压电源维修 ENI OEM-12A RF Generator射频电源 控制器 匹配器维修
服务:AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源
维修:ASTEC(雅达)、日本COSEL (科索)、LAM(泛林)、APPLIED AMAT(应用材料)、美国AE电源(MDX、MDX II、
Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。 美国赛恩SEREV R2001射频电源二手销售 射频电源匹配 射频电源射频控制器维修RF Generator AD-TEC型号AX-2000修理
维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务:拥有一批技术人才,进口射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。
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