上海仡捷电子科技有限公司  半导体设备维修 APPLIED MATERIALS应用材料设备维修  Lam Research 设备维修 MKS SEMOZON 140 HP臭氧发生器维修 AX8200臭氧发生器维修 AX8506臭氧发生器维修  专业臭氧发生器维修
维修：ASTEC（雅达）、日本COSEL （科索）、LAM（泛林）、APPLIED AMAT(应用材料）、美国AE电源(MDX、MDX II、

RFPP（RF、LF）VHF、HFV等)、 美国ENI电源（DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等。

美国维易科(Veeco)仪器 ENI RFC-5 RF RF射频电源，高压电源维修 ENI OEM-12A RF Generator射频电源 控制器 匹配器维修

服务：AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源

pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、

主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。

维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务：拥有一批技术人才，进口射频电源工程技术支持，消化吸收国外技术基础上发展，锻炼培养十几名的维修工程师。
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