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维修:ASTEC(雅达)、日本COSEL (科索)、LAM(泛林)、APPLIED AMAT(应用材料)、美国AE电源(MDX、MDX II、
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服务:AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源
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维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。服务:拥有一批技术人才,进口射频电源工程技术支持,消化吸收国外技术基础上发展,锻炼培养十几名的维修工程师。
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