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半导体设备维修 保山LAMBDA Vega 450电源维修
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主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI ( MKS )等 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
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维修:ASTEC(雅达)、日本COSEL (科索)、LAM(泛林)、APPLIED AMAT(应用材料)、美国AE电源(MDX、MDX II、
美国维易科(Veeco)仪器 ENI RFC-5 RF RF射频电源,高压电源维修 ENI OEM-12A RF Generator射频电源 控制器 匹配器维修
pinnacle、Diamond、PE、PEII、RFG、RFX、RFXII、APEX、RFDS、ATLAS、HFG、 RFPP(RF、LF)VHF、HFV等)、 美国ENI电源(DCG、RPG、DPG、ACG、OEM等)、德国Singulus电源等。
维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。
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